上海某大型半導(dǎo)體制造商-新工藝工廠建設(shè)項目
2018年我公司設(shè)計、生產(chǎn)并安裝了酸系、堿系、粉系3個系統(tǒng)共由29套大型洗滌塔處理單元組成的無機廢氣處理系統(tǒng)。該系統(tǒng)自動化程度高，處理風(fēng)量大且處理能力及效果都非常良好。其中酸系洗滌塔采用了按照客戶現(xiàn)場層高定制的非標(biāo)臥式洗滌塔，17套設(shè)備在設(shè)備層中一字排開共處理風(fēng)量125萬m3/H；堿系洗滌塔采用了協(xié)和化工FSW型立式高性能洗滌塔，共6套設(shè)備，處理風(fēng)量36萬m3/H；粉系系統(tǒng)使用了協(xié)和化工標(biāo)準(zhǔn)文丘里處理裝置，共6套設(shè)備，處理風(fēng)量30萬m3/H。用戶作為國內(nèi)最先進的半導(dǎo)體制造商對我方設(shè)備給予了很高評價。 該系統(tǒng)最大的個體處理單元風(fēng)量為89000m3/H，其對指定的無機廢氣處理能力也高達95%以上。該系統(tǒng)目前是我公司在中國國內(nèi)建造的規(guī)模最大的系統(tǒng)之一。
